一、技术概述

磷化/发黑是大幅度提高金属表面耐腐蚀性的一个简单可靠、费用低廉、操作方便的工艺方法，因此被广泛的应用在实际生产中。

新型外表功用覆层技术，包括低温化学外表涂层技术及超深层外表改性技术，它运用物理、化学或物理化学等技术手腕来改动“资料及其制件外表成份和组织构造”，其特性是坚持基体资料固有的特征，又赋予外表化所请求的各种性能，从而顺应各种技术和退役环境对资料的特殊请求，因此它是制造和资料学科最为活泼的技术范畴，又是触及外表处置与涂层技术的穿插学科。其最大的优势在于能以极少的资料和能源耗费制备出基体资料难以以至无法取得的性能优良的外表薄层，从而取得最大的经济效益，它是一种优质高效的外表改性与涂层技术。优质、高效的外表改性与涂层技术其范围宽广：如热化学外表技术;物理气相堆积;化学气相堆积;物理化学气相堆积技术;高能等离体外表涂层技术;金刚石薄膜涂层;多元多层复合涂层技术;外表改性及涂层性能预测及剪栽技术;性能测试与寿命评价等等。

新型低温化学气相堆积技术引入等离子体加强技术，使其温度降至600度以下，取得硬质耐磨涂层新工艺，所消费的高强度、高性能的涂层工艺，在高速、重负荷、难加工范畴中有其特殊的作用。超深层外表改性技术可应用于绝大多数热处置件和外表处置件，可替代高频淬火，碳氮共渗，离子渗氮等工艺，得到更深的渗层，更高的耐磨性，产品寿命剧增，可产生打破性的功用变化。

二、现状及国内外开展趋向

随着根底工业及高新技术产品的开展，对优质、高效外表改性及涂层技术的需求向纵深延伸，国内外在该范畴与相关学科互相促进的局势下，在诸如“热化学外表改性”、“高能等离子体外表涂层”、“金刚石薄膜涂层技术”以及“外表改性与涂层工艺模仿和性能预测”等方面都有着打破的停顿。

1.热化学外表改性技术现状及开展趋向

国外近年来注重对“可控氛围条件和真空条件下的渗碳，碳氮共渗等技术的研讨，并已完成工业化。而在我国应用很少，相关的技术研讨工作亦不够。可控氛围渗碳和真空渗碳技术是显著缩短消费周期，节能、省时，同时可进步工件质量，不氧化、不脱碳，保证零件外表耐腐蚀和抗疲倦性，并减少热处置后机加工余量及清算工时。

目前国际上碳势控制和监测，渗层布型控制等方面的研讨成果已应用于实践消费，并用计算机停止在线动态控制。

2.PVD、CVD、PCVD技术现状及开展趋向

各种气相堆积是当前世界上著名研讨机构和大学竞相展开的具有应战的性的研讨课题。目前该技术在信息、计算机、半导体、光学仪器等产业及电子元器件、光电子器件、太阳能电池、传感器件等制造中应用非常普遍，在机械工业中，制造硬质耐磨镀层、耐腐蚀镀层、热障镀层及固体光滑镀层等方面也有较多的研讨和应用，其中TiN等镀膜刀具的提高已惹起切削范畴中的一场反动，金刚石薄膜、立方氮化硼薄膜的研讨也非常炽热，并已向适用化方面推进。

在不同PVD、CVD工艺的根底上，经过开展和复合很多新的工艺和设备，如IBAD、PCVD与空心最新外表处置技术概述及其开展趋向。